Warning, /Geometry/HGCalTBCommonData/data/TB231/hgcalConsData.xml is written in an unsupported language. File is not indexed.
0001 <?xml version="1.0"?>
0002 <DDDefinition>
0003
0004 <ConstantsSection label="hgcalConsData.xml" eval="true">
0005 <Vector name="LayerTypesEE" type="numeric" nEntries="26">
0006 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1, 0, 1,
0007 0, 1, 0, 1, 0, 1
0008 </Vector>
0009 <Vector name="WaferIndexEE" type="numeric" nEntries="650">
0010 262144, 262146, 262148, 262178, 262180, 262209, 262211,
0011 262241, 262243, 262272, 262274, 262306, 262337, 262369,
0012 262400, 264257, 264259, 264289, 264291, 264320, 264322,
0013 264354, 264385, 264417, 264448, 524288, 524290, 524292,
0014 524322, 524324, 524353, 524355, 524385, 524387, 524416,
0015 524418, 524450, 524481, 524513, 524544, 526401, 526403,
0016 526433, 526435, 526464, 526466, 526498, 526529, 526561,
0017 526592, 786432, 786434, 786436, 786466, 786468, 786497,
0018 786499, 786529, 786531, 786560, 786562, 786594, 786625,
0019 786657, 786688, 788545, 788547, 788577, 788579, 788608,
0020 788610, 788642, 788673, 788705, 788736, 1048576, 1048578,
0021 1048580, 1048610, 1048612, 1048641, 1048643, 1048673, 1048675,
0022 1048704, 1048706, 1048738, 1048769, 1048801, 1048832, 1050689,
0023 1050691, 1050721, 1050723, 1050752, 1050754, 1050786, 1050817,
0024 1050849, 1050880, 1310720, 1310722, 1310724, 1310754, 1310756,
0025 1310785, 1310787, 1310817, 1310819, 1310848, 1310850, 1310882,
0026 1310913, 1310945, 1310976, 1312833, 1312835, 1312865, 1312867,
0027 1312896, 1312898, 1312930, 1312961, 1312993, 1313024, 1572864,
0028 1572866, 1572868, 1572898, 1572900, 1572929, 1572931, 1572961,
0029 1572963, 1572992, 1572994, 1573026, 1573057, 1573089, 1573120,
0030 1574977, 1574979, 1575009, 1575011, 1575040, 1575042, 1575074,
0031 1575105, 1575137, 1575168, 1835008, 1835010, 1835012, 1835042,
0032 1835044, 1835073, 1835075, 1835105, 1835107, 1835136, 1835138,
0033 1835170, 1835201, 1835233, 1835264, 1837121, 1837123, 1837153,
0034 1837155, 1837184, 1837186, 1837218, 1837249, 1837281, 1837312,
0035 2097152, 2097154, 2097156, 2097186, 2097188, 2097217, 2097219,
0036 2097249, 2097251, 2097280, 2097282, 2097314, 2097345, 2097377,
0037 2097408, 2099265, 2099267, 2099297, 2099299, 2099328, 2099330,
0038 2099362, 2099393, 2099425, 2099456, 2359296, 2359298, 2359300,
0039 2359330, 2359332, 2359361, 2359363, 2359393, 2359395, 2359424,
0040 2359426, 2359458, 2359489, 2359521, 2359552, 2361409, 2361411,
0041 2361441, 2361443, 2361472, 2361474, 2361506, 2361537, 2361569,
0042 2361600, 2621440, 2621442, 2621444, 2621474, 2621476, 2621505,
0043 2621507, 2621537, 2621539, 2621568, 2621570, 2621602, 2621633,
0044 2621665, 2621696, 2623553, 2623555, 2623585, 2623587, 2623616,
0045 2623618, 2623650, 2623681, 2623713, 2623744, 2883584, 2883586,
0046 2883588, 2883618, 2883620, 2883649, 2883651, 2883681, 2883683,
0047 2883712, 2883714, 2883746, 2883777, 2883809, 2883840, 2885697,
0048 2885699, 2885729, 2885731, 2885760, 2885762, 2885794, 2885825,
0049 2885857, 2885888, 3145728, 3145730, 3145732, 3145762, 3145764,
0050 3145793, 3145795, 3145825, 3145827, 3145856, 3145858, 3145890,
0051 3145921, 3145953, 3145984, 3147841, 3147843, 3147873, 3147875,
0052 3147904, 3147906, 3147938, 3147969, 3148001, 3148032, 3407872,
0053 3407874, 3407876, 3407906, 3407908, 3407937, 3407939, 3407969,
0054 3407971, 3408000, 3408002, 3408034, 3408065, 3408097, 3408128,
0055 3409985, 3409987, 3410017, 3410019, 3410048, 3410050, 3410082,
0056 3410113, 3410145, 3410176, 3670016, 3670018, 3670020, 3670050,
0057 3670052, 3670081, 3670083, 3670113, 3670115, 3670144, 3670146,
0058 3670178, 3670209, 3670241, 3670272, 3672129, 3672131, 3672161,
0059 3672163, 3672192, 3672194, 3672226, 3672257, 3672289, 3672320,
0060 3932160, 3932162, 3932164, 3932194, 3932196, 3932225, 3932227,
0061 3932257, 3932259, 3932288, 3932290, 3932322, 3932353, 3932385,
0062 3932416, 3934273, 3934275, 3934305, 3934307, 3934336, 3934338,
0063 3934370, 3934401, 3934433, 3934464, 4194304, 4194306, 4194308,
0064 4194338, 4194340, 4194369, 4194371, 4194401, 4194403, 4194432,
0065 4194434, 4194466, 4194497, 4194529, 4194560, 4196417, 4196419,
0066 4196449, 4196451, 4196480, 4196482, 4196514, 4196545, 4196577,
0067 4196608, 4456448, 4456450, 4456452, 4456482, 4456484, 4456513,
0068 4456515, 4456545, 4456547, 4456576, 4456578, 4456610, 4456641,
0069 4456673, 4456704, 4458561, 4458563, 4458593, 4458595, 4458624,
0070 4458626, 4458658, 4458689, 4458721, 4458752, 4718592, 4718594,
0071 4718596, 4718626, 4718628, 4718657, 4718659, 4718689, 4718691,
0072 4718720, 4718722, 4718754, 4718785, 4718817, 4718848, 4720705,
0073 4720707, 4720737, 4720739, 4720768, 4720770, 4720802, 4720833,
0074 4720865, 4720896, 4980736, 4980738, 4980740, 4980770, 4980772,
0075 4980801, 4980803, 4980833, 4980835, 4980864, 4980866, 4980898,
0076 4980929, 4980961, 4980992, 4982849, 4982851, 4982881, 4982883,
0077 4982912, 4982914, 4982946, 4982977, 4983009, 4983040, 5242880,
0078 5242882, 5242884, 5242914, 5242916, 5242945, 5242947, 5242977,
0079 5242979, 5243008, 5243010, 5243042, 5243073, 5243105, 5243136,
0080 5244993, 5244995, 5245025, 5245027, 5245056, 5245058, 5245090,
0081 5245121, 5245153, 5245184, 5505024, 5505026, 5505028, 5505058,
0082 5505060, 5505089, 5505091, 5505121, 5505123, 5505152, 5505154,
0083 5505186, 5505217, 5505249, 5505280, 5507137, 5507139, 5507169,
0084 5507171, 5507200, 5507202, 5507234, 5507265, 5507297, 5507328,
0085 5767168, 5767170, 5767172, 5767202, 5767204, 5767233, 5767235,
0086 5767265, 5767267, 5767296, 5767298, 5767330, 5767361, 5767393,
0087 5767424, 5769281, 5769283, 5769313, 5769315, 5769344, 5769346,
0088 5769378, 5769409, 5769441, 5769472, 6029312, 6029314, 6029316,
0089 6029346, 6029348, 6029377, 6029379, 6029409, 6029411, 6029440,
0090 6029442, 6029474, 6029505, 6029537, 6029568, 6031425, 6031427,
0091 6031457, 6031459, 6031488, 6031490, 6031522, 6031553, 6031585,
0092 6031616, 6291456, 6291458, 6291460, 6291490, 6291492, 6291521,
0093 6291523, 6291553, 6291555, 6291584, 6291586, 6291618, 6291649,
0094 6291681, 6291712, 6293569, 6293571, 6293601, 6293603, 6293632,
0095 6293634, 6293666, 6293697, 6293729, 6293760, 6553600, 6553602,
0096 6553604, 6553634, 6553636, 6553665, 6553667, 6553697, 6553699,
0097 6553728, 6553730, 6553762, 6553793, 6553825, 6553856, 6555713,
0098 6555715, 6555745, 6555747, 6555776, 6555778, 6555810, 6555841,
0099 6555873, 6555904, 6815744, 6815746, 6815748, 6815778, 6815780,
0100 6815809, 6815811, 6815841, 6815843, 6815872, 6815874, 6815906,
0101 6815937, 6815969, 6816000, 6817857, 6817859, 6817889, 6817891,
0102 6817920, 6817922, 6817954, 6817985, 6818017, 6818048
0103 </Vector>
0104 <Vector name="WaferPropertiesEE" type="numeric" nEntries="650">
0105 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0106 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0107 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0108 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0109 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0110 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0111 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0112 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0113 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0114 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0115 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0116 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0117 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0118 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0119 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0120 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0121 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0122 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0123 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0124 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0125 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0126 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0127 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0128 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0129 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0130 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0131 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0132 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0133 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0134 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0135 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0136 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0137 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0138 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0139 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0140 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0141 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0142 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0143 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0144 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0145 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0146 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0147 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0148 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0149 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0150 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0151 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0152 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0153 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0154 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0155 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0156 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0157 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0158 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0159 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0160 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0161 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0162 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0163 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0164 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0165 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0166 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0167 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0168 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0169 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0170 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0171 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0172 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0173 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0174 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0175 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0176 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0177 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0178 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0179 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0180 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0181 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0182 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0183 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0184 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0185 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0186 11000, 11000
0187 </Vector>
0188 <Vector name="WaferLayerStartEE" type="numeric" nEntries="26">
0189 0, 25, 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200, 225,
0190 250, 275, 300, 325, 350, 375, 400, 425, 450, 475,
0191 500, 525, 550, 575, 600, 625
0192 </Vector>
0193 <Vector name="CassetteShiftEE" type="numeric" nEntries="312">
0194 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0195 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0196 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0197 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0198 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0199 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0200 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0201 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0202 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0203 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0204 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0205 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0206 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0207 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0208 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0209 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0210 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0211 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0212 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0213 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0214 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0215 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0216 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0217 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0218 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0219 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0220 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0221 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0222 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0223 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0224 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0225 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0226 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0227 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0228 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0229 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0230 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0231 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0232 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0233 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0234 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0235 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0236 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0237 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0238 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0239 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0240 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0241 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0242 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0243 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0244 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0245 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm
0246 </Vector>
0247 <Vector name="LayerTypesHE" type="numeric" nEntries="21">
0248 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3, 2, 3,
0249 2
0250 </Vector>
0251 <Vector name="WaferIndexHE" type="numeric" nEntries="525">
0252 262144, 262146, 262148, 262178, 262180, 262209, 262211,
0253 262241, 262243, 262272, 262274, 262306, 262337, 262369,
0254 262400, 264257, 264259, 264289, 264291, 264320, 264322,
0255 264354, 264385, 264417, 264448, 524288, 524290, 524292,
0256 524322, 524324, 524353, 524355, 524385, 524387, 524416,
0257 524418, 524450, 524481, 524513, 524544, 526401, 526403,
0258 526433, 526435, 526464, 526466, 526498, 526529, 526561,
0259 526592, 786432, 786434, 786436, 786466, 786468, 786497,
0260 786499, 786529, 786531, 786560, 786562, 786594, 786625,
0261 786657, 786688, 788545, 788547, 788577, 788579, 788608,
0262 788610, 788642, 788673, 788705, 788736, 1048576, 1048578,
0263 1048580, 1048610, 1048612, 1048641, 1048643, 1048673, 1048675,
0264 1048704, 1048706, 1048738, 1048769, 1048801, 1048832, 1050689,
0265 1050691, 1050721, 1050723, 1050752, 1050754, 1050786, 1050817,
0266 1050849, 1050880, 1310720, 1310722, 1310724, 1310754, 1310756,
0267 1310785, 1310787, 1310817, 1310819, 1310848, 1310850, 1310882,
0268 1310913, 1310945, 1310976, 1312833, 1312835, 1312865, 1312867,
0269 1312896, 1312898, 1312930, 1312961, 1312993, 1313024, 1572864,
0270 1572866, 1572868, 1572898, 1572900, 1572929, 1572931, 1572961,
0271 1572963, 1572992, 1572994, 1573026, 1573057, 1573089, 1573120,
0272 1574977, 1574979, 1575009, 1575011, 1575040, 1575042, 1575074,
0273 1575105, 1575137, 1575168, 1835008, 1835010, 1835012, 1835042,
0274 1835044, 1835073, 1835075, 1835105, 1835107, 1835136, 1835138,
0275 1835170, 1835201, 1835233, 1835264, 1837121, 1837123, 1837153,
0276 1837155, 1837184, 1837186, 1837218, 1837249, 1837281, 1837312,
0277 2097152, 2097154, 2097156, 2097186, 2097188, 2097217, 2097219,
0278 2097249, 2097251, 2097280, 2097282, 2097314, 2097345, 2097377,
0279 2097408, 2099265, 2099267, 2099297, 2099299, 2099328, 2099330,
0280 2099362, 2099393, 2099425, 2099456, 2359296, 2359298, 2359300,
0281 2359330, 2359332, 2359361, 2359363, 2359393, 2359395, 2359424,
0282 2359426, 2359458, 2359489, 2359521, 2359552, 2361409, 2361411,
0283 2361441, 2361443, 2361472, 2361474, 2361506, 2361537, 2361569,
0284 2361600, 2621440, 2621442, 2621444, 2621474, 2621476, 2621505,
0285 2621507, 2621537, 2621539, 2621568, 2621570, 2621602, 2621633,
0286 2621665, 2621696, 2623553, 2623555, 2623585, 2623587, 2623616,
0287 2623618, 2623650, 2623681, 2623713, 2623744, 2883584, 2883586,
0288 2883588, 2883618, 2883620, 2883649, 2883651, 2883681, 2883683,
0289 2883712, 2883714, 2883746, 2883777, 2883809, 2883840, 2885697,
0290 2885699, 2885729, 2885731, 2885760, 2885762, 2885794, 2885825,
0291 2885857, 2885888, 3145728, 3145730, 3145732, 3145762, 3145764,
0292 3145793, 3145795, 3145825, 3145827, 3145856, 3145858, 3145890,
0293 3145921, 3145953, 3145984, 3147841, 3147843, 3147873, 3147875,
0294 3147904, 3147906, 3147938, 3147969, 3148001, 3148032, 3407872,
0295 3407874, 3407876, 3407906, 3407908, 3407937, 3407939, 3407969,
0296 3407971, 3408000, 3408002, 3408034, 3408065, 3408097, 3408128,
0297 3409985, 3409987, 3410017, 3410019, 3410048, 3410050, 3410082,
0298 3410113, 3410145, 3410176, 3670016, 3670018, 3670020, 3670050,
0299 3670052, 3670081, 3670083, 3670113, 3670115, 3670144, 3670146,
0300 3670178, 3670209, 3670241, 3670272, 3672129, 3672131, 3672161,
0301 3672163, 3672192, 3672194, 3672226, 3672257, 3672289, 3672320,
0302 3932160, 3932162, 3932164, 3932194, 3932196, 3932225, 3932227,
0303 3932257, 3932259, 3932288, 3932290, 3932322, 3932353, 3932385,
0304 3932416, 3934273, 3934275, 3934305, 3934307, 3934336, 3934338,
0305 3934370, 3934401, 3934433, 3934464, 4194304, 4194306, 4194308,
0306 4194338, 4194340, 4194369, 4194371, 4194401, 4194403, 4194432,
0307 4194434, 4194466, 4194497, 4194529, 4194560, 4196417, 4196419,
0308 4196449, 4196451, 4196480, 4196482, 4196514, 4196545, 4196577,
0309 4196608, 4456448, 4456450, 4456452, 4456482, 4456484, 4456513,
0310 4456515, 4456545, 4456547, 4456576, 4456578, 4456610, 4456641,
0311 4456673, 4456704, 4458561, 4458563, 4458593, 4458595, 4458624,
0312 4458626, 4458658, 4458689, 4458721, 4458752, 4718592, 4718594,
0313 4718596, 4718626, 4718628, 4718657, 4718659, 4718689, 4718691,
0314 4718720, 4718722, 4718754, 4718785, 4718817, 4718848, 4720705,
0315 4720707, 4720737, 4720739, 4720768, 4720770, 4720802, 4720833,
0316 4720865, 4720896, 4980736, 4980738, 4980740, 4980770, 4980772,
0317 4980801, 4980803, 4980833, 4980835, 4980864, 4980866, 4980898,
0318 4980929, 4980961, 4980992, 4982849, 4982851, 4982881, 4982883,
0319 4982912, 4982914, 4982946, 4982977, 4983009, 4983040, 5242880,
0320 5242882, 5242884, 5242914, 5242916, 5242945, 5242947, 5242977,
0321 5242979, 5243008, 5243010, 5243042, 5243073, 5243105, 5243136,
0322 5244993, 5244995, 5245025, 5245027, 5245056, 5245058, 5245090,
0323 5245121, 5245153, 5245184, 5505024, 5505026, 5505028, 5505058,
0324 5505060, 5505089, 5505091, 5505121, 5505123, 5505152, 5505154,
0325 5505186, 5505217, 5505249, 5505280, 5507137, 5507139, 5507169,
0326 5507171, 5507200, 5507202, 5507234, 5507265, 5507297, 5507328
0327 </Vector>
0328 <Vector name="WaferPropertiesHE" type="numeric" nEntries="525">
0329 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0330 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0331 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000, 11000,
0332 11000, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0333 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0334 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0335 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0336 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0337 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0338 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0339 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0340 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0341 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0342 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0343 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0344 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0345 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0346 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0347 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0348 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0349 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0350 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0351 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0352 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0353 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0354 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0355 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0356 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0357 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0358 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0359 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0360 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0361 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0362 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0363 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0364 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0365 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0366 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0367 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0368 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0369 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0370 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0371 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0372 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0373 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0374 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0375 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0376 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0377 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0378 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0379 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0380 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0381 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0382 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0383 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0384 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0385 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0386 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0387 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0388 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0389 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0390 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0391 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0392 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0393 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002, 11002,
0394 11002, 11002, 11002, 11002, 11002
0395 </Vector>
0396 <Vector name="WaferLayerStartHE" type="numeric" nEntries="21">
0397 0, 25, 50, 75, 100, 125, 150, 175, 200, 225,
0398 250, 275, 300, 325, 350, 375, 400, 425, 450, 475,
0399 500
0400 </Vector>
0401 <Vector name="CassetteShiftHE" type="numeric" nEntries="504">
0402 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0403 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0404 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0405 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0406 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0407 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0408 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0409 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0410 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0411 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0412 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0413 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0414 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0415 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0416 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0417 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0418 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0419 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0420 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0421 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0422 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0423 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0424 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0425 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0426 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0427 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0428 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0429 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0430 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0431 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0432 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0433 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0434 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0435 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0436 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0437 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0438 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0439 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0440 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0441 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0442 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0443 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0444 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0445 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0446 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0447 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0448 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0449 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0450 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0451 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0452 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0453 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0454 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0455 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0456 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0457 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0458 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0459 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0460 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0461 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0462 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0463 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0464 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0465 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0466 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0467 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0468 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0469 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0470 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0471 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0472 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0473 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0474 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0475 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0476 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0477 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0478 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0479 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0480 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0481 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0482 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0483 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0484 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm,
0485 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm, 0*mm
0486 </Vector>
0487 </ConstantsSection>
0488
0489 </DDDefinition>
